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厂房介绍

 

 

华力微电子建有一条先进的12英寸集成电路芯片生产线,月产能3.5万片。该生产线采用高端生产设备,充分考虑了技术的延展性,能满足包括193nm浸没式光刻技术、应变硅技术、金属硬掩模后道互连技术、铜后道大马士革一体化刻蚀技术等先进工艺的要求,同时还配备了业界先进的亮场缺陷检测和电子扫描显微镜等检测设备。

 

华力微电子是中国大陆首家采用全自动搬运系统的12英寸集成电路芯片代工企业,全自动搬送系统包括轨道、硅片存储、搬送小车、和缓冲存储架。轨道由中央搬送轨道、连接到设备的轨道及周边的环路轨道组成,总长3246米,搬送范围覆盖整个洁净厂房的所有设备。

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